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스마트폰, 테블렛 등 터치스크린 방식의 휴대용 기기에 대한 수요 증가로 면저항 측정의 중요성 또한 커지고 있습니다. RS는 필름의 전도성, 세기 등 소재의 전기적 특성을 측정합니다. 최근 신소재로 각광 받고 있는 ITO, 전도성 필름, 웨이퍼의 면저항 측정이 가능하며 소재에 맞추어 비접촉 측정과 같은 다양한 측정 방법을 제시합니다.
측정 범위: 10^-4 ~ 10^7Ω(normal), 10^3 ~ 10^14Ω(high)
측정 모드: 접촉/비접촉
* 재현성: CV < 1.5%(normal)
*측정 범위에 따라 상이
Ω, Ω/□, Ω•cm, S/cm
측정 항목
> 비접촉 측정
> 저저항 측정
> 고저항 측정
전도성 물질(페인트, 잉크, 페이스트 플라스틱, Si 웨이퍼 등)
전도성 필름(ITO 유리, 금속 증착 샘플, 세라믹 등)
LTPS 공정용 고저항 재료(a-Si, poly Si 등)
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