기술의 발전으로 나노 물질의 역할은 더욱 중요해졌습니다. OPTM시리즈는 현미 분광을 통해 기존 제품보다 더 미세한 영역의 측정 및 연구가 가능하도록 해줍니다. 비파괴·비접촉 검사로 각종 광학 재료의 코팅 필름 두께와 다층 박막을 정밀하게 측정할 수 있고, 포인트당 1초 이내로 고속 측정합니다. 초보자들도 쉽게 광학 상수 해석을 할 수 있는 소프트웨어를 탑재하여 최적의 솔루션을 제공합니다.
현미 분광으로 고정밀 절대 반사율을 측정합니다. (다층 막두께, 광학 정수)
막두께 측정에 필요한 기능을 헤드부에 집약했습니다.
자외선부터 적외선까지 넓은 파장 범위를 측정하는 광학 시스템입니다.
1포인트 당 1초 안에 비접촉, 비파괴 고속 미세 측정이 가능합니다.
센서 영역이 별도로 있어 안전합니다.
초심자도 광학 상수 해석이 가능한 wizard 기능이 제공됩니다.
복잡한 광학 정수도 해석 가능합니다. (복수점 해석법)
측정 시퀀스를 설정할 수 있는 매크로 기능이 탑재되어있습니다.
300mm 크기 스테이지 장치가 가능합니다.
각종 요구사항에 맞춰 커스터마이즈 가능합니다.
모델별 사양
| Wavelength range | Automatic XY stage type | Fixed frame type | Built-in head type |
| 230 ~ 800nm | OPTM-A1 | OPTM-F1 | OPTM-H1 |
| 360 ~ 1,100nm | OPTM-A2 | OPTM-F2 | OPTM-H2 |
| 900 ~ 1,600nm | OPTM-A3 | OPTM-F3 | OPTM-H3 |
| Specifications | Stroke | Repeatability | Stroke resolution |
| Automatic XY stage type | X: 200mm, Y: 225mm | 2μm | 1μm |
선택가능한 사양
| Wavelength range | Film thickness meas. range | Detector | Light source |
| 230 ~ 800nm | 1nm ~ 35μm | CCD | deuterium + halogen |
| 360 ~ 1,100nm | 7nm ~ 49μm | CCD | deuterium + halogen |
| 900 ~ 1,600nm | 16nm ~ 92μm | InGaAs | halogen |
| Type | Magnification | Measurement spot diameter | Viewing field |
| Reflective objective type | 2x lens | ∅ 100μm | ∅ 4,000μm |
| 10x lens | ∅ 20μm | ∅ 800μm | |
| 20x lens | ∅ 10μm | ∅ 400μm | |
| 40x lens | ∅ 5μm | ∅ 200μm | |
| Visible refractive type | 5x lens | ∅ 40μm | ∅ 1,600μm |
반사율(절대, 상대)
두께(Å부터 ㎛까지)
광학 상수(n, k)
측정 가능 샘플
반도체/디스플레이 제작용 증착 필름
PET 또는 플렉시블 기판에 코팅된 필름
투명한 재료의 라미네이트 필름
경기도 성남시 분당구 성남대로 925번길 41 파인벤처빌딩 6층 B호 (13496)
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