​​OLED(RGB, white), LED(micro, mini)

Color filter spectral inspection system LCF

• FPD 제조공정에서 컬러 필터에 대한 광학 특성 분석 및 유리기판 위의 필름 박막 분석을 수행합니다.
• 투과 스펙트럼 측정, 컬러 측정, 농도 측정, 막 두께 측정 및 반사 스펙트럼 측정 등 컬러 필터 제조 공정의 모든 테스트를 지원합니다.
• 레시피 등록 기능을 통해 완전 자동화 테스트를 지원합니다.

LCD cell gap measurement RETS series

• 편광 광학 시스템을 사용하는 분광기입니다.
• LCD 셀의 셀겝 및 컬러 필터의 빈셀겝을 측정합니다.
• 1mm 광학 소자에서 10세대 대형 LCD 패널까지 다양한 크기의 샘플 측정이 가능합니다.

Retardation measurement system RETS-100nx

• 비파괴 방법으로 적층 필름을 측정합니다.
• 고속·고정밀로 60,000nm의 매우 높은 위상차도 측정 가능합니다.
• 축 각도 보정 기능으로 샘플 설치 반복에도 높은 정확도를 보여줍니다.

Microscopic spectro-photometer OPTM(UV SR) series

• 자외선 영역부터 적외선 영역까지 넓은 파장 범위를 측정하는 광학 시스템입니다.
• 1초 안에 비접촉, 비파괴 고속 미세 측정이 가능합니다.
• 정확한 막 두께와 광학 상수(n, k)를 얻기 위해 샘플의 절대 반사율을 측정합니다.

Spectro ellipsometer FE-5000 series

• 가시광선 및 자외선 범위(250 ~ 800nm)에서 엘립소 파라미터를 측정합니다.
• 자동 각도 조절이 적용된 메커니즘으로 정확한 두께 측정이 가능한 엘립소미터입니다.
• 광학 상수 데이터베이스 및 레시피 등록 기능으로 조작성이 우수합니다.

Sheet resistance RS

• 면저항 측정기입니다.
• 접촉/비접촉 측정 모드 모두 지원합니다.
• 10^-4 ~ 10^7Ω 측정 범위에서 CV < 1.5%의 재현성을 가집니다.