제품 > 반도체 평가 > OLED(RGB, white), OLEDoS > IC-SR
| Category | Part | Item | Specification |
| H/W | Probe | Working Distance (W/D) | 12~200 mm (Customizable with optical design) |
| Spectrometer | Wavelength Range | 220~850 nm | |
| Wavelength accuracy | ±0.3 nm | ||
| Resolution | 1.0nm/pixel | ||
| CCD | 512 or 1024ch | ||
| TE-Cooled CCD Image Sensor | |||
| Lamp | source | LDLS | |
| wavelength | 190~2500 nm | ||
| Lifetime | 10,000 h (14 months) | ||
| Interlock | Shutter, sensor (option) | ||
| Optical fiber | Length | 0.5~25m | |
| Material | Quartz | ||
| Vacuum | ≤10-7 Torr | ||
S/W | Measurement | Repeatability | 1) SiO2(1000Å)/Si, 1σ≤1Å |
| 2) OLED(200~1000Å), 1σ≤ 0.5Å | |||
| Tact time | Total ≤ 1.5s (1 point measurement) | ||
| - Ref./Dark ≤ 0.5s (최초 1회) | |||
| - Sample ≤ 0.5s | |||
| - Fitting & Data upload ≤ 1s | |||
Recipe | Model (Dispersion equation) | Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz Drude-Lorentz, EMA mix, etc., | |
| Quantity | Max 999 | ||
| Communication | PLC, CIM, CC-LINK IE Field |
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