제품 > 디스플레이 평가 > OLED(RGB, white), OLEDoS > IC-TM
| Category | Part | Item | Specification |
| H/W | Probe | Working Distance (W/D) | 12~200 mm (Customizable with optical design) |
| Spectrometer | Wavelength Range | 220~850 nm | |
| Wavelength accuracy | ±0.3 nm | ||
| Resolution | 1.0nm/pixel | ||
| CCD | 512 or 1024ch | ||
| TE-Cooled CCD Image Sensor | |||
| Lamp | source | LDLS | |
| wavelength | 190~2500 nm | ||
| Lifetime | 10,000 h (14 months) | ||
| Interlock | Shutter, sensor (option) | ||
| Optical fiber | Length | 0.5~25m | |
| Material | Quartz | ||
| Vacuum | ≤10-7 Torr | ||
S/W | Measurement | Repeatability | 1) SiO2(1000Å)/Si, 1σ≤1Å |
| 2) OLED(200~1000Å), 1σ≤ 0.5Å | |||
| Tact time | Sample ≤ 0.5s | ||
Recipe | Model (Dispersion equation) | Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, Drude-Lorentz, EMA mix, etc., | |
| Quantity | Max 999 | ||
| Communication | PLC, CIM, CC-LINK IE Field |
오츠카전자의 IC-TM은 고진공 챔버에 최적화된 Compact Probe와 Multi-Head 구조를 기반으로, 단일 Spectrometer로 다지점 초박막 두께를 실시간 계측합니다. 독자 Optimization 알고리즘을 통해 공정 환경 변화에도 안정적인 측정을 제공합니다.
• 증착 공정 중 막 두께를 실시간으로 모니터링하여 공정 이상을 즉시 감지하고, 불량 발생을 사전에 방지함으로써 Yield와 Throughput을 동시에
향상시킵니다.
• 다양한 고진공 챔버 환경에 최적화된 프로브를 맞춤 설계·제작하며, 동시에 여러 포인트를 측정할 수 있도록 대응 가능합니다.”
• 챔버 환경 (높이 및 기울기)에 맞는 최적의 광학 설계
• UV-VIS 파장 대역을 사용하여 수 nm의 ultra thin film 두께 측정
• 10⁻⁵ Pa 이하의 초고진공 조건에서도 안정적으로 사용할 수 있도록, outgassing 특성이 우수한 전용 소재를 적용
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