제품 > 필름 평가 > Film surface Inspection > MINUK
MINUK는 nm 오더의 투명한 이물·결함 평가가 가능하고,
한 번의 샷으로 높이 방향 정보를 얻을 수 있으며, 비파괴·비접촉·비침습으로 측정이 가능한 장치입니다.
또한, 포커스 동작 없이, 임의의 면을 고속으로 스캔 해 측정 위치를 결정하는 것도
가능합니다.
nm 오더의 투명한 이물 및 결함 평가가 가능 합니다.
한 번의 샷으로 순식간에 깊이 방향의 정보를 얻을 수 있습니다.
| Resolution x,y | 691 nm(one shot), 488 nm(composition) |
| Field of view x,y | 700×700 μm |
| Resolution z | 10 nm（Retardation） |
| Digital refocusing range z | ±700 μm |
| Sample size | 100×80×t20 mm （when versatile sample holder attached） |
| Sample stage | Automatic XY stage for fine adjustment X:±10 mm Y：±10 mm Stage for rough adjustment X：129 mm Y：85 mm |
| Laser | Wavelength 638 nm Output 0.39 mW or less, Class1 (Irradiation strength to the sample) |
| Demention (Width×Depth×Height) mm | Main unit:505（W）× 630（D）× 439（H） |
| Weight | 41 kg |
| Power consumption | Main unit:290 VA *PC and Accessory not included. |
nm 오더의 형상 정보를 비접촉·비파괴·비침습으로 취득할 수 있습니다. 원샷으로 깊이 방향의 정보도 함께 취득하는 것으로, 육안으로는 보이지 않는 투명 필름 표면의 상처나 결함의 단면 형상을 가시화해 수치화하는 것이 가능합니다.
육안으로는 보이지 않는 투명 필름 내부에 있는 필러를 원샷으로 관찰할 수 있습니다. 또한 측정 후에 깊이 방향으로 핀트를 바꾸어감으로써 각 깊이에서의 필러를 식별할 수 있습니다.
육안으로는 확인할 수 없는 표면이나 내부에 형성한 투명 구조물을 신속하게 가시화하고 수치화할 수 있습니다.
슬라이드 글라스상에 도포된 접착제의 건조 자국
좌측그림 빨간선의 단면 형상
원샷 촬상 모드에서는, 액체 등 시시각각으로 변화하는 형상을 가시화·수치화할 수 있습니다.
동적으로 변화하는 대상물의 평가, 동적 현상의 메커니즘 해명에 활용할 수 있습니다.
슬라이드 글라스 위에 증발해 가는 에타올의 경시 변화
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